La tecnología de edición de circuitos proporciona un rápido prototipo de pequeñas correcciones de diseño en varios puntos del proceso de fabricación de IC: después de la primera depuración de silicona; para mejoras de rendimiento durante la rampa de producción; para crear un pequeño número de chips en funcionamiento para desarrolladores beta; y para resolver problemas de fiabilidad. Los ingenieros de edición de circuitos laminan el chip hasta la ubicación del posible defecto y, a continuación, lo eliminan o colocan conductores o aislantes en geometrías concretas, lo que permite a los fabricantes de IC validar los cambios de diseño sin volver a girar las retículas y procesar obleas adicionales.

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Semiconductores

Krios G4 Cryo-TEM

  • Ergonomía mejorada
  • Se adapta más fácilmente a los laboratorios nuevos y existentes
  • Productividad y automatización maximizadas
  • Óptima calidad de imagen para la reconstrucción 3D de alta resolución

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Spectra 300 TEM

  • Información química y estructural de máxima resolución a nivel atómico
  • Intervalo de alta tensión flexible de 30-300 kV
  • Sistema de condensador de tres lentes

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Spectra 200 TEM

  • Adquisición de imágenes de alta resolución y contraste para tensiones de aceleración de 30-200 kV
  • Lente de objetivo simétrico S-TWIN/X-TWIN con diseño de pieza polar de holgura amplia de 5,4 mm
  • Resolución de imágenes STEM subangstrom de 60 kV-200 kV

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Glacios Cryo-TEM

  • Tensión de aceleración flexible de 80 a 200 kV
  • Cargador automático líder del sector para la manipulación de muestras criogénicas
  • Tamaño reducido
  • Facilidad de uso mejorada

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Talos Arctica TEM

  • Mayor velocidad de adquisición de datos
  • Datos de alta calidad con manipulación robótica de muestras y carga automática
  • Funcionamiento sin supervisión de la plataforma y adquisición de datos automatizada
  • Coste de propiedad reducido con diagnóstico remoto y servicio preventivo

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Metrios AX TEM

  • Opciones de automatización compatibles con calidad, uniformidad, metrología y OPEX reducido
  • Aprovecha el aprendizaje automático para excelentes funciones automáticas y reconocimiento de funciones
  • Flujos de trabajo para preparación de laminillas in-situ y ex-situ

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Talos L120C TEM

  • Mayor estabilidad
  • Cámara Ceta 4k × 4K con sensor CMOS
  • Intervalo de ampliación TEM de 25 a 650 kX
  • Análisis por EDS flexible que revela información química

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Talos F200i TEM

  • Imágenes S/TEM de alta calidad y EDS preciso
  • Disponible con tecnología EDS dual
  • Capacidades óptimas e integrales in situ
  • Amplio campo de visión a alta velocidad

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Talos F200S TEM

  • Datos precisos de composición química
  • Adquisición de imágenes de alto rendimiento y análisis de composición preciso para microscopía dinámica
  • Cuenta con software Velox para una adquisición y análisis rápidos y fáciles de datos multimodales

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Talos F200X TEM

  • Alta resolución/rendimiento en adquisición de imágenes STEM y análisis químicos
  • Añade soportes de muestras específicos de la aplicación in situ para experimentos dinámicos
  • Cuenta con software Velox para una adquisición y análisis rápidos y fáciles de datos multimodales

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Talos F200C TEM

  • Análisis por EDS flexible que revela información química
  • Adquisición de imágenes TEM y STEM de alto contraste y alta calidad
  • La cámara Ceta de 16 MP con sensor CMOS proporciona un amplio campo de visión y una rápida velocidad de lectura

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ExSolve WTP DualBeam

  • Puede preparar laminillas específicas de sitios de 20 nm de grosor en obleas completas de hasta 300 mm de diámetro
  • Soluciona las necesidad de muestreo automatizado de alto rendimiento en nodos de tecnología avanzada

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Helios G4 EXL DualBeam

  • Control preciso y conocimiento de la temperatura de la muestra
  • Estabilidad mejorada de la muestra, navegación y corrección de deriva de la muestra asistida en los ejes 'x', 'y' y 'z'
  • Avance en las funciones de adquisición de imágenes y películas de alta calidad

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Helios 5 DualBeam

  • Preparación de muestras de TEM ultrafina, de alta calidad y completamente automatizada
  • Subsuperficie de alto rendimiento, alta resolución y caracterización en 3D
  • Capacidades de rápida creación de prototipos a nanoescala

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Helios 5 PFIB DualBeam

  • Preparación de muestras STEM y TEM sin galio
  • Subsuperficie multimodal e información 3D
  • Columna FIB con plasma xenón de 2,5 μA de última generación

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Helios G4 PFIB DualBeam

  • Preparación de muestras STEM y TEM sin galio
  • Subsuperficie multimodal e información 3D
  • Columna FIB con plasma xenón de 2,5 μA de última generación

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Sistema Helios 5 Laser PFIB

  • Secciones cruzadas rápidas a escala milimétrica
  • Subsuperficie profunda relevante estadísticamente y análisis de datos 3D
  • Comparte todas las capacidades de la plataforma Helios 5 PFIB

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Helios Hydra DualBeam

  • 4 especies de iones rápidos conmutables (Xe, Ar, O, N) para el procesamiento optimizado de PFIB de la gama más amplia de materiales
  • Preparación de muestras de TEM sin GA
  • Adquisición de imágenes SEM de alta resolución

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Aquilos 2 Cryo-FIB

  • La automatización permite la producción de varias laminillas
  • Posibilidad de colocar y extraer la estructura que desee con el nanomanipulador de extracción
  • Visualización 3D para tomografía de alta resolución

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Scios 2 DualBeam

  • Soporte completo de muestras magnéticas y no conductoras
  • Subsuperficie de alto rendimiento y caracterización en 3D
  • Facilidad de uso y capacidades de automatización avanzadas

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Axia ChemiSEM

  • Asignación elemental cuantitativa en directo
  • Adquisición de imágenes de microscopía electrónica de barrido de alta fidelidad
  • Flexible y fácil de usar, incluso para usuarios principiantes
  • Fácil mantenimiento.

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Verios 5 XHR SEM

  • SEM monocroma para resolución de subnanómetros sobre el rango de energía completo de 1 keV a 30 keV
  • Fácil acceso a la energía de recepción de haz, a un nivel tan bajo como 20 eV
  • Excelente estabilidad con fase piezoeléctrica como estándar

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Quattro ESEM

  • Tecnología de obtención de imágenes por microscopía electrónica de barrido (SEM) con cañón de emisión de campo (FEG) de alta resolución con versatilidad absoluta y capacidad medioambiental única (ESEM)
  • Consulte la información completa de todas las muestras con obtención de imágenes SE y BSE en cada modo de funcionamiento

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Prisma E SEM

  • SEM de nivel básico con excelente calidad de imagen
  • Rápida y sencilla navegación y carga de muestras para varias muestras
  • Compatible con una amplia gama de materiales gracias a los exclusivos modos de vacío

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Apreo 2 SEM

  • SEM de alto rendimiento para resolución integral de subnanómetros o nanómetros
  • Detector de retrodispersión de T1 incorporado en la columna para contraste de materiales sensibles de velocidad TV
  • Excelente rendimiento en trabajos con larga distancia (10 mm)

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VolumeScope 2 SEM

  • Datos 3D isotrópicos de grandes volúmenes
  • Alto contraste y resolución en los modos de vacío alto y bajo
  • Un solo movimiento entre el uso de SEM normal y la adquisición de imágenes de cara de bloques en serie

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SEM de escritorio Phenom Pharos

  • Fuente FEG con un rango de tensión de aceleración desde 2 hasta 15 kV
  • Detector de EDS y SE, totalmente integrado, opcional

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SEM de escritorio Phenom XL G2

  • Para muestras grandes (100 x 100 mm) e ideal para automatización
  • Resolución de <10 nm y aumento de hasta 200.000x; tensión de aceleración desde 4,8 kV hasta 20 kV
  • Detector de EDS y BSE, totalmente integrado, opcional

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SEM de escritorio Phenom ProX

  • SEM de escritorio de alto rendimiento con detector EDS integrado
  • Resolución de <8 nm (SE) y <10 nm (BSE); aumento de hasta 150.000x
  • Detector SE opcional

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SEM de escritorio Phenom Pro

  • SEM de escritorio de alto rendimiento
  • Resolución de <8 nm (SE) y <10 nm (BSE); aumento de hasta 150.000x
  • Detector SE opcional

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SEM de escritorio Phenom Pure

  • SEM de escritorio de nivel básico
  • Resolución de <25 nm; aumento de hasta 65.000x
  • Fuente CeB6 de larga duración

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SEM de escritorio Phenom Perception GSR

  • SEM de escritorio GSR automatizado exclusivo
  • Resolución de <10 nm; aumento de hasta 200.000x
  • Fuente CeB6 de larga duración

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SEM de escritorio Phenom ParticleX AM

  • SEM de escritorio versátil con software de automatización para fabricación de aditivos
  • Resolución de <10 nm; aumento de hasta 200.000x
  • Detector SE opcional

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SEM de escritorio Phenom ParticleX TC

  • SEM de escritorio versátil con software de automatización para pulcritud técnica
  • Resolución de <10 nm; aumento de hasta 200.000x
  • Detector SE opcional

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SEM de escritorio de acero Phenom ParticleX

  • SEM y EDS integrados
  • Facilidad de uso
  • Elementos de submicrómetro

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Sistema ELITE

  • Completamente no destructivo
  • Identifica rápidamente el componente defectuoso en la tarjeta de montaje y obtener la disposición exacta
  • Localiza el defecto en x-y con la precisión del micrómetro, con una ubicación de profundidad exacta de 20 µm

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Sistema Hyperion II

  • Sondeo de fuerza atómica
  • Localice los fallos del transistor
  • Corriente de pico integrada (CAFM)

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Sistema nProber IV

  • Localice los fallos BEOL y del transistor
  • Nanosondeo térmico (de -40° C a 150 °C)
  • Funcionamiento semiautomático

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Sistema Meridian S

  • Diagnóstico de fallos con tecnología de sonda activa
  • Estimulación láser estática (SLS / OBIRCH) y opciones de emisión de fotones
  • Admite la estimulación de dispositivos de microsonda y de tarjetas de sonda

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Sistema Meridian WS-DP

  • Detección de emisiones de fotones de baja tensión, bajo nivel de ruido y alta sensibilidad con sistemas de cámara DBX o InGaAs de banda ancha
  • Microscopio de barrido láser de longitud de onda múltiple para análisis de cadena de barrido, asignación de frecuencia, sondeo de transistores y aislamiento de fallos

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Sistema Meridian 7

  • Aislamiento dinámico de fallos ópticos para el nodo de 10 nm e inferiores
  • Luz infrarroja y visible de alta resolución
  • Preparación de muestras de alto rendimiento de 5 μm disponible

Más información

Sistema Meridian IV

  • Detección de emisión de fotones DBX de longitud de onda ampliada de alta sensibilidad
  • Detección de emisión de fotones de InGaAs estándar
  • Microscopio de barrido láser con opciones de longitud de onda múltiple

Más información

Taipan G2+ Sistema de edición de circuitos

  • Resolución de adquisición de imágenes y fresado para cumplir con las especificaciones de nodo de 10 nm
  • Excelente selectividad de surcos grabados y control de deposición para conductores y aislantes
  • Excelente navegación y precisión en la colocación del haz de iones

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Sistema de edición de circuitos Centrios

  • Excelente resolución de imagen/fresado
  • Control y precisión de fresado mejorados
  • Basado en la plataforma Thermo Scientific Helios DualBeam

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Sistema de pruebas de cierre y ESD MK.4TE

  • Operaciones basadas en relés rápidos: hasta 2304 canales
  • Preacondicionado avanzado del dispositivo con seis niveles de transmisión por vector separados
  • Polarización de dispositivo y estímulos de cierre totalmente compatibles

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Dispositivo de prueba de descarga electrostática Orion3

  • Prueba del modelo del dispositivo cargado
  • Cámaras de color duales de alta resolución
  • Prueba de densidades a menos de un paso de 0,4 mm

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Sistema de prueba Celestron

  • Prueba de TLP a nivel de obleas y de paquetes
  • Generador de pulso TLP de corriente alta
  • Puede conectarse con sondas semiautomáticas
  • Software intuitivo para el control y la generación de informes

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Sistema de prueba de ESD Pegasus

  • Pruebas según los estándares más recientes del sector
  • Red ESD 150pF/330Ω de nivel de sistema real
  • Conexión de 2 pines mediante sondeo de obleas a cualquier dispositivo

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Nexsa

  • Módulo de basculación para mediciones de ARXPS
  • Fuente de iones de modo dual para capacidades de realización de perfiles de profundidad
  • Análisis de aislantes.

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K-Alpha

  • Espectroscopía de área seleccionable.
  • Monocromador microfocalizado.
  • Espectroscopía del estado químico de alta resolución.

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ESCALAB Xi+

  • Espectroscopía de alta sensibilidad.
  • XPS con fuente de rayos X no monocromática.
  • Analizador hemisférico de 180°.

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Sistema Vitrobot

  • Vitrificación de muestras totalmente automatizada
  • Dispositivo de inmunotransferencia
  • Transferencia de rejilla semiautomatizada
  • Alta productividad de muestras

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Software Amira

  • Compatibilidad con multidatos/visualización/canal
  • Visualización interactiva de alta calidad
  • Segmentación basada en el aprendizaje automático
  • Creación intuitiva de recetas

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Software Auto Slice and View 4.0

  • Cortes en secciones en serie automatizadas para DualBeam
  • Adquisición de datos multimodales (SEM, EDS, EBSD)
  • Capacidades de edición sobre la marcha
  • Ubicación del corte en los bordes

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Software AutoScript 4

  • Reproducibilidad y precisión mejoradas
  • Adquisición de imágenes y patrones de alto rendimiento y sin supervisión
  • Compatible con un entorno de secuencia de comandos basado en Python 3.5

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Software AutoTEM 5

  • Preparación de muestras S/TEM in situ totalmente automatizada
  • Compatible con geometría invertida, plana y "top-down" (arriba-abajo)
  • Flujo de trabajo altamente configurable
  • Interfaz de usuario intuitiva, fácil de utilizar

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Software Avizo

  • Compatibilidad con varios datos/varias vistas, multicanal, series temporales, datos de gran tamaño
  • Registro automático avanzado multimodo 2D/3D
  • Algoritmos de reducción de artefactos

 Descargar folleto

Software EPU 2

  • Solución integrada en el microscopio para adquisición de partículas únicas
  • Optimizado para recolección de partículas de alto rendimiento
  • Compatible con película, cámaras CCD y detectores de electrones directos

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Software Ifast

  • Grabador de macros para crear recetas más rápido
  • Electroforesis para funcionamiento nocturno sin supervisión
  • Herramientas de alineación: Reconocimiento de imágenes y detección de bordes

Más información

Software Inspect 3D

  • Filtros y herramientas de tratamiento de imágenes para correlación cruzada
  • Seguimiento de funciones para alineación de imágenes
  • Técnica de reconstrucción algebraica para la comparación de proyección iterativa

 Más información ›

Software Maps

  • Adquiera imágenes de alta resolución en grandes áreas
  • Encuentre fácilmente áreas de interés
  • Automatice el proceso de adquisición de imágenes

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Software NEXS

  • Sincroniza automáticamente la posición/aumento entre NEXS y el sistema de edición de circuitos para experiencia de usuario perfecta
  • Se conecta con la mayoría de herramientas de Thermo Scientific utilizadas para EFA, PFA y el espacio de edición de circuitos

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Software Pergeos

  • Compatibilidad con varios datos/varias vistas, multicanal, series temporales, datos de gran tamaño
  • Simulación de flujo de dos fases
  • Tomografía computarizada de energía dual (DECT)

 Ver recursos

Software Tomography 4.0

  • Algoritmo de reconstrucción sobre la marcha
  • Adquisición de TEM y STEM completamente automática
  • Calibración única
  • Flujo de trabajo sencillo desde datos a estructuras

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Software Velox

  • Panel de experimentos en el lado izquierdo de la ventana de procesamiento.
  • Asignación elemental cuantitativa
  • Interfaz de diseño de detector interactiva para control y configuración de experimentos reproducibles

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Reconstrucción en 3D

  • Interfaz de usuario intuitiva, uso máximo
  • Interfaz de usuario totalmente automatizada e intuitiva
  • Basada en la tecnología 'shape from shading' (forma a través de sombreados), sin inclinación de etapas necesaria

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AsbestoMetric

  • Herramienta automatizada para adquisición de imágenes, detección de fibras y generación de informes
  • Análisis por EDX asistido con revisión de fibras
  • Informe de la Norma ISO estándar sobre el análisis de asbesto

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Elemental Mapping

  • Información rápida y fiable sobre la distribución de elementos de la muestra o la línea seleccionada
  • Resultados fácilmente exportados y comunicados

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FiberMetric

  • Ahorre tiempo mediante mediciones automáticas
  • Recopilación rápida y automática de todos los datos estadísticos
  • Visualización y medición de nanofibras y microfibras con exactitud incomparable

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Nanobuilder

  • Creación de prototipos basados en CAD
  • Ejecución de trabajos totalmente automatizada, navegación por etapas, fresado y depósito
  • Alineación automática y control de desviación

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ParticleMetric

  • Software integrado en ProSuite para análisis en línea y fuera de línea
  • Funciones de correlación de partículas como diámetro, circularidad, relación de aspecto y convexidad
  • Creación de conjuntos de datos de imágenes con la asignación de imágenes automatizada

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Interfaz de programación de Phenom

  • Personalice su SEM para que se ajuste al flujo de trabajo
  • Aumente la eficacia y ahorre tiempo con procesos automatizados
  • Controle la configuración de imagen y la navegación por etapas

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PoroMetric

  • Correlaciona las características de los poros como el área, la relación de aspecto, el eje principal y el secundario
  • Adquiera imágenes directamente desde el SEM de escritorio
  • Datos estadísticos con imágenes de alta calidad

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ProSuite

  • Recolección automatizada de imágenes
  • Control remoto en tiempo real
  • Las aplicaciones estándar incluyen: Asignación automatizada de imágenes + interfaz de usuario remoto

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Quartz PCI/CFR

  • Trazabilidad de adquisición de imágenes SEM compatible con la norma CFR 21, parte 11
  • Compatible con los SEM de escritorio Phenom XL y Phenom Pro
  • Compatible con el sistema operativo Windows 10 de 64 bits

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μHeater

  • Solución de calentamiento ultrarrápido para adquisición de imágenes de alta resolución in situ
  • Totalmente integrada
  • Temperaturas de hasta 1200 °C

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μPolisher

  • Potencial para permitir un gran número de aplicaciones novedosas e inexploradas
  • Fresado de muy baja energía
  • Tamaño de punto pequeño para un tratamiento preciso de la superficie local

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Filtros de adquisición de imágenes Selectris y Selectris X

  • Diseñados para adquisición de imágenes de alta estabilidad y resolución atómica
  • Funcionamiento sencillo
  • En combinación con el detector de electrones directos Falcon 4 de Thermo Scientific

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Cámara Ceta D

  • Rendimiento óptimo en cualquier tensión alta (20–300 kV)
  • Compatible con filtros postcolumna y espectrómetros
  • Adquisición de películas para estudios dinámicos

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Detector Falcon 4

  • Eficacia cuántica de investigación de primer nivel
  • Tiempo de exposición 10 veces menor que el de su predecesor
  • Totalmente integrado en el software Thermo Scientific
  • Gestión de datos integrada

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Soporte de muestras de reducción de carga

  • Aumento de hasta 8 veces más
  • Preparación más rápida de muestras
  • Se pueden obtener imágenes de las muestras sin conductividad en su estado natural

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Soporte de muestras de alimentación eléctrica

  • Conecte sondas eléctricas a la muestra para mediciones in situ
  • La altura de la muestra se puede ajustar manualmente de 0 a 25 mm
  • Mediciones de corrientes de la sonda

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Soporte de muestras eucéntricas

  • Rotación en dos dimensiones e inclinación eucéntrica en un SEM de escritorio
  • Tiempo rápido de obtención de imágenes con carga de muestras en < 1 minuto
  • Módulo de visualización de muestras 3D en tiempo real

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Insertos de filtro

  • Análisis de residuos de filtro y análisis de asbesto
  • Disponible en dos modelos compatibles con filtros de 47 mm (1,85 pulg) y de 25 mm (1 pulgada)
  • Uso con el SEM de escritorio Phenom

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Soporte de muestras metalúrgicas

  • Diseñado para su compatibilidad con muestras con montaje de resina
  • Solución preferida para la metalurgia y al trabajar con insertos
  • Tamaño de la muestra de hasta 32 mm de diámetro y 30 mm de altura

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Soporte de muestras de microherramientas

  • Sujeción rápida
  • Inclinación y la rotación que permiten una fácil colocación de la muestra
  • No se requieren herramientas adicionales para la carga de muestras

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Soporte de muestras de rotación e inclinación motorizado

  • Intervalo de inclinación de -10° a +45°
  • Rotación continua en dos dimensiones en 360°
  • Controlado por la aplicación ProSuite de control de movimiento exclusiva

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Dispersor de partículas Nebula

  • Método estándar para la dispersión uniforme de polvo seco
  • Evita las agrupaciones de partículas
  • Se utiliza con el SEM de escritorio Phenom

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Insertos de montaje de resina

  • Concepto exclusivo del soporte de muestras
  • Disponible en 3 modelos compatibles con muestras de tamaño estándar de 25 mm (~1 pulgada), 32 mm (aproximadamente 1⁄4 pulgada) y 40 mm (aproximadamente 1⁄4 pulgada) de diámetro

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Soporte de muestras estándar

  • Etapa compacta que permite el análisis de muestras de hasta 100 mm x 100 mm
  • Se puede ampliar con 3 tipos de resina o insertos de montaje metalúrgicos
  • Se utiliza con el SEM de escritorio Phenom

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Insertos de soporte de muestras

  • Adquisición más rápida de imágenes transversales de los revestimientos y muestras multicapa
  • Fácil sujeción sin necesidad de tornillos ni herramientas adicionales
  • No es necesario utilizar tornillos ni herramientas para fijar la muestra

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Soporte de muestras de tracción

  • Determinación de la calidad del lote
  • Determinación de la uniformidad en la fabricación
  • Ayuda al proceso de diseño

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Soporte de muestras controladas por temperatura

  • Rango de temperatura: desde + -25 °C hasta + +50 °C.
  • Precisión de la temperatura ±1,5 °C
  • Resolución de la visualización de la temperatura 0,1 °C

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Hoja de estilo para las especificaciones de la tabla de productos
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Hoja de estilo para tarjetas originales instrumentos

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