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The Thermo Scientific ExSolve wafer TEM prep (WTP) DualBeam (FIB-SEM) dramatically reduces the cost and increases the speed of sample preparation, providing semiconductor and data storage manufacturers with quick and easy access to the data they need to verify and monitor process performance. The ExSolve DualBeam can prepare site-specific TEM lamella, sampling many sites per wafer in a fully-automated process inside the fab, giving semiconductor manufacturers much more information than conventional approaches, while at the same time reducing the capital cost of sample preparation by up to 70 percent.
The ExSolve WTP DualBeam system is an automated, high-throughput sample preparation system that can prepare site-specific, 20 nm thick lamellae on whole wafers up to 300 mm in diameter. It is part of a fast, complete workflow that includes Thermo Scientific TEMLink, and the Thermo Scientific Metrios TEM. The ExSolve DualBeam includes FOUP handling and is designed to be located in the fab near the manufacturing line.
The ExSolve WTP DualBeam workflow addresses the needs of customers that require automated, high-throughput sampling at advanced technology nodes. It complements the capabilities of the Thermo Scientific Helios NanoLab DualBeam 1200AT, which provides more flexible, operator-directed, sample preparation methods, along with additional capabilities such as high-resolution scanning electron microscopy (SEM) imaging and analysis.
Pathfinding und Entwicklung von Halbleitern
Fortschrittliche Elektronenmikroskopie, fokussierter Ionenstrahl und zugehörige Analyseverfahren zur Identifizierung umsetzbarer Lösungen und Designmethoden für die Herstellung von leistungsstarken Halbleiterbauelementen.
Ausbeutesteigerung und Metrologie
Wir bieten fortschrittliche Analysemöglichkeiten für die Fehleranalyse, Metrologie und Prozesskontrolle, die die Produktivität erhöhen und die Ausbeute bei zahlreichen Halbleiteranwendungen und Halbleiterbauelementen verbessern.
Fehleranalyse von Halbleitern
Durch immer komplexere Strukturen von Halbleiterbauelementen können sich an mehr Stellen folgenschwere Mängel verbergen. Mit unseren Arbeitsabläufen der nächsten Generation können Sie auch kleinste Probleme in der Elektrik lokalisieren und charakterisieren, die sich auf die Ausbeute, Leistung und Zuverlässigkeit auswirken.
Physikalische und chemische Charakterisierung
Die kontinuierliche Nachfrage der Verbraucher treibt die Entwicklung kleinerer, schnellerer und kostengünstigerer elektronischer Geräte voran. Ihre Fertigung basiert auf hoch produktiven Geräten und Arbeitsabläufen, die eine breite Palette von Halbleiterbauelementen und Anzeigegeräten abbilden, analysieren und charakterisieren.
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Komodo Tabs
Probenvorbereitung von Halbleiterbauelementen
Thermo Scientific DualBeam Systeme bieten genaue eine TEM-Probenvorbereitung für die Analyse von Halbleiterbauelementen im atomaren Maßstab. Automatisierung und fortschrittliche Machine-Learning-Methoden erzeugen qualitativ hochwertige Proben am richtigen Ort und zu niedrigen Kosten pro Probe.
TEM-Messtechnik
Fortschrittliche und automatisierte TEM-Messroutinen liefern eine deutlich höhere Präzision als manuelle Methoden. Dadurch können Anwender große Mengen statistisch relevanter Daten mit Spezifität im Sub-Angstrom-Bereich erzeugen, die frei von Bedienereinflüssen ist.
Probenvorbereitung von Halbleiterbauelementen
Thermo Scientific DualBeam Systeme bieten genaue eine TEM-Probenvorbereitung für die Analyse von Halbleiterbauelementen im atomaren Maßstab. Automatisierung und fortschrittliche Machine-Learning-Methoden erzeugen qualitativ hochwertige Proben am richtigen Ort und zu niedrigen Kosten pro Probe.
TEM-Messtechnik
Fortschrittliche und automatisierte TEM-Messroutinen liefern eine deutlich höhere Präzision als manuelle Methoden. Dadurch können Anwender große Mengen statistisch relevanter Daten mit Spezifität im Sub-Angstrom-Bereich erzeugen, die frei von Bedienereinflüssen ist.
Electron microscopy services for
semiconductors
To ensure optimal system performance, we provide you access to a world-class network of field service experts, technical support, and certified spare parts.
Electron microscopy support and resources
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Style Sheet for Fonts
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