X射线打到样品表面会引起电子发射。当然，荷电校准是XPS分析的基础。如果表面是不导电绝缘体，那么发射电子导致表面积累正电荷。但是，当XPS测量使用单色X射线源时，杂散电子太少无法控制荷电，正电荷严重影响XPS谱。这会导致XPS谱峰向高结合能移动并伴随有畸变。因此，必需使用外部电子源提供补偿电子中和表面上的电荷。补偿电子稳定和控制荷电在中和态附近几个电子伏范围内。在采集的在完成数据谱采集后，使用热电科学仪器公司（Thermo Scientific）的Avantage数据系统中谱图处理工具校正谱峰微小移动。

组合离子枪

使用一把枪同时提供聚焦低能电子束和大面积离子流，比单独使用具有多个明显的优势。一种新颖、离子和电子组合枪已经问世，涵盖上述有势。这种独特的组合枪使用LaB6发射体ESCALAB 250Xi电子能谱仪中荷电补偿性能特点